RF-Magnetron sputtering of silicon carbide and silicon nitride films for solar cells - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

RF-Magnetron sputtering of silicon carbide and silicon nitride films for solar cells

Zakhvalinskii, V. S., Piljuk, E. A., Goncharov, I. Yu., Rodriges, V. G., Taran, S. V.

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T09:46:51Z

Аннотация:

Ключевые слова:
physics, solid state physics, thin films, RF magnetron sputtering, solar cells, silicon carbide, silicon nitride, atomic force microscopy

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)