Морфология и свойства пленок ZnO, полученных методом многократного центрифугирования на подложках пористого кремния

Захвалинский, В. С.; Голев, И. М.; Борисенко, Л. В.; Хмара, А. Н.; Пилюк, Е. А.; Колесников, Д. А.

Морфология и свойства пленок ZnO, полученных методом многократного центрифугирования на подложках пористого кремния

Захвалинский, В. С., Голев, И. М., Борисенко, Л. В., Хмара, А. Н., Пилюк, Е. А., Колесников, Д. А.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T09:46:52Z

Аннотация:

Были получены слои пористого кремния (PS), многослойные пленки ZnO и гетероструктуры на их основе. Методами рентгеноспектрального энергодисперсионного анализа (EDX), рентгенофазового анализа (РФА) и растровой электронной микроскопии (РЭМ) была исследована морфология поверхности, химический и фазовый состав слоя PS и пленок ZnO, поперечный скол нанокомпозита (ZnO-PS)