Устройство для определения плоскости лучшего изображения и   масштаба изображения проекционного объектива в реальном времени

Агейченко, А. С.; Матюшков, В. Е.

Устройство для определения плоскости лучшего изображения и масштаба изображения проекционного объектива в реальном времени

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:01:17Z

Аннотация:

Рассмотрены факторы, оказывающие влияние на положение плоскости лучшего изображения проекционных объективов в процессе экспонирования. Описано устройство для определения плоскости лучшего изображения и масштаба изображения проекционного объектива в реальном времени.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, фотолитография, проекционный объектив, световая нагрузка, плоскость лучшего изображения

Тип: Article