Электрические  свойства  пленок  оксида   цинка легированных редкоземельными элементами

Малютина-Бронская, В. В.; Залесский, В. Б.; Леонова, Т. Р.

Электрические свойства пленок оксида цинка легированных редкоземельными элементами

Малютина-Бронская, В. В., Залесский, В. Б., Леонова, Т. Р.

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:02:08Z

Аннотация:

Представлены результаты исследований вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик структур Al-Ni/ZnO:Er(Eu)/Si. Пленки ZnO, легированные редкоземельными элементами Eu и Er, получены методом реактивного магнетронного распыления цинковой мишени на кремний. Данные пленки имеют структуру плотной упаковки нано- и микрокристаллитов с размерами порядка 100–300 нм. Установлено, что доминирующим механизмом переноса носителей заряда в структуре является ток, ограниченный пространственным зарядом. Концентрация локальных центров, полученная из анализа вольт-фарадных характеристик, составляет 1018 см-3 для структур ZnO:Eu/p-Si и 1018–1019 см -3 для структур ZnO:Er /n-Si.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, ZnO, магнетронное распыление, редкоземельные элементы, вольт- фарадные характеристики, вольт-амперные характеристики

Тип: Article