Условия образования  нанокластеров  при  формировании  наноструктурированных  пленок  поликристаллического   кремния, легированного германием

Строгова, Н. С.; Строгова, А. С.; Ковалевский, А. А.; Борисевич, В. М.; Плякин, Д. В.

Условия образования нанокластеров при формировании наноструктурированных пленок поликристаллического кремния, легированного германием

Строгова, Н. С., Строгова, А. С., Ковалевский, А. А., Борисевич, В. М., Плякин, Д. В.

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:02:48Z

Аннотация:

Проведены исследования топографии поверхности, кристаллической структуры пленок, поликристаллического кремния, легированного германием, полученных разложением смеси моносилан – моногерман – водород. Изменение структуры Ge и SiGe-кластеров анализировалось на основании данных спектроскопии комбинационного рассеяния света. Также проанализированы зависимости роста пленок от полного давления в реакторе и парциального давления моносилана.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, нанокластеры, формирование наноструктурированных пленок кремния, самоорганизация нанокластеров

Тип: Article