Пористое  анодирование  алюминиевых  пленок  с  использованием   фотолитографической маски при высоких напряжениях формовки

Лазарук, С. К.

Пористое анодирование алюминиевых пленок с использованием фотолитографической маски при высоких напряжениях формовки

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:05:49Z

Аннотация:

Предложен метод локального электрохимического анодирования алюминиевых пленок при высоких напряжениях формовки с отводом выделяемого джоулева тепла через алюминиевые дорожки, граничащие с формируемым пористым оксидом алюминия. Предложенный метод позволяет проводить процесс при рекордно высоких напряжениях формовки, что, в свою очередь, приводит к достижению новых результатов, таких как формирование трубчатой структуры оксида с широким диапазоном внешнего диаметра трубок от 50 до 400 нм, а также обеспечивает высокую анизотропию анодного процесса со степенью анизотропии до 0,8. Отмеченные выше результаты могут быть объяснены реализацией процесса при высокой напряженности электрического поля внутри барьерного слоя пористого оксида алюминия.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, электрохимическое анодирование, алюминий, пористый оксид алюминия, трубчатая структура оксида, джоулево тепло

Тип: Article