Самоорганизация германийсодержащих нанокластеров в  процессе осаждения пленок поликристаллического кремния,  легированного германием : отчет о НИР (заключ.)

Плякин, Д. В.

Самоорганизация германийсодержащих нанокластеров в процессе осаждения пленок поликристаллического кремния, легированного германием : отчет о НИР (заключ.)

Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:06:24Z

Аннотация:

В ходе выполнения работы был проведен анализ методов и условий получения германийсодержащих нанокластеров. Определены ключевые моменты каждого метода. Разработана методика получения германийсодержащих нанокластеров. Проведен эксперимент по осаждению пленок поликристаллического кремния (ПКК), легированного германием. Используя методы сканирующей зондовой микроскопии, проведено исследование полученных образцов.

Ключевые слова:
отчеты о НИР, нанокластеры, германий, кремний, германосиликатное стекло, сканирующая зондовая микроскопия, пленки поликристаллического кремния, легированного германием, наноструктурированные пленки

Тип: Technical Report