Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств

Сокол, В. А.; Костюченко, С. А.

Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:07:35Z

Аннотация:

Приведены результаты работ по созданию электрохимической технологии микро- и наноэлектронных устройств, в основном гибридных интегральных микросхем и многокристальных модулей. Рассмотрены технологии алюминиевых оснований, многоуровневых систем межсоединений и алюминиевых корпусов для гибридных интегральных схем и сверхбольших интегральных схем. Представлены результаты работ по созданию электрохимической технологии изготовления наноэлектронных устройств, таких как матричные управляемые автоэмиссионные катоды и транзисторы, работающие на основе квантового эффекта одноэлектронного переноса.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, анодирование, алюминий, пористый оксид алюминия, наноэлектронные устройства

Тип: Article