Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в различных электролитах

Хорошко, Л. С.; Ашариф, А. М.; Ореховская, Т. И.; Меледина, М. В.; Сокол, В. А.; Колосницын, Б. С.; Гапоненко, Н. В.

Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в различных электролитах

Хорошко, Л. С., Ашариф, А. М., Ореховская, Т. И., Меледина, М. В., Сокол, В. А., Колосницын, Б. С., Гапоненко, Н. В.

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:08:04Z

Аннотация:

Приведены результаты исследования морфологии микроструктурированных пленок пористого анодного оксида алюминия, сформированных с применением электрохимического анодирования, золь-гель синтеза, фотолитографии и химического травления. Для выполнения фотолитографии защитная металлическая маска не использовалась за счет формирования сплошной пленки ксерогеля. Обсуждаются перспективы применения таких структур в планарной оптоэлектронике и фотокатализе.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, пористый анодный оксид алюминия, золь-гель, фотолитография

Тип: Article