Radiation-enhanced diffusion of phosphorus in silicon - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Radiation-enhanced diffusion of phosphorus in silicon

Velichko, O. I., Величко, О. И.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:08:09Z

Аннотация:

Ключевые слова:
публикации ученых, modeling, radiation-enhanced diffusion, point defects, phosphorus, silicon

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)