The effect that nitrogen ion irradiation and the deposition of a nanosize-thick carbon coating have on microhardness and crack-growth resistance in silicon - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

The effect that nitrogen ion irradiation and the deposition of a nanosize-thick carbon coating have on microhardness and crack-growth resistance in silicon

Kolpakov, A. Ya., Druchinina, O. A., Kharchenko, V. A.

Дата публикации: 2009

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T09:54:55Z

Аннотация:

Ключевые слова:
equipment, chemical production, silicon wafers, ions, nitrogen ions, carbon coating, compressive stresses, resistance silicon, silicon

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)