Light spectroscopy and probe measurements of electron temperature in Ar plasmas of pulse-periodic microwave discharge - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Light spectroscopy and probe measurements of electron temperature in Ar plasmas of pulse-periodic microwave discharge

Andreev V.V., Vasileska I., Korneeva M.A.

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T14:40:05Z

Аннотация:

Ключевые слова:
Dual Langmuir probe, ECR discharge, Langmuir probe measurements, Optical emission spectroscopy

Тип: Article

Права: open access

Источник: Applied Physics

Связанные документы (рекомендация CORE)