Взаимодействие газовой фазы с расплавом в процессе выращивания монокристаллов германия

Подкопаев, О.И.; Кулаковская, Т.В.; Шиманский, А.Ф.; Погодаев, А.М.; Васильева, М.Н.; Podkopaev, Oleg I.; Kulakovskaya, Tatyana V.; Shimanskiy, Alexandr  F.; Pogodaev, Aleksandr M.; Vasilyeva, Mariya N.

Взаимодействие газовой фазы с расплавом в процессе выращивания монокристаллов германия

Подкопаев, О.И., Кулаковская, Т.В., Шиманский, А.Ф., Погодаев, А.М., Васильева, М.Н., Podkopaev, Oleg I., Kulakovskaya, Tatyana V., Shimanskiy, Alexandr F., Pogodaev, Aleksandr M., Vasilyeva, Mariya N.

Дата публикации: 2013-10-31

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T17:28:18Z

Аннотация:

Проведен термодинамический анализ взаимодействия газовой фазы с расплавом в ходе выращивания монокристаллов германия. Рассмотрены процессы роста кристаллов в среде инертного газа и кристаллизации Ge в среде водорода. Установлена взаимосвязь концентрации кислорода в слитках полупроводникового германия с парциальным давлением кислорода в инертном газе и парциальным давлением водяного пара в водороде. Предложена термодинамическая модель взаимодействия кислорода и влаги в газовой среде с расплавом германия