Разработка пористых структур на кремнии

Сакун, Е.А.; Полюшкевич, А.В.; Харлашин, П.А.; Семенова, О.В.; Корец, А.Я.; Sakun, Elena A.; Polyushkevich, Anna V.; Harlashin, Pavel A.; Semenova, Olga V.; Korets, Anatoly Ya.

Разработка пористых структур на кремнии

Сакун, Е.А., Полюшкевич, А.В., Харлашин, П.А., Семенова, О.В., Корец, А.Я., Sakun, Elena A., Polyushkevich, Anna V., Harlashin, Pavel A., Semenova, Olga V., Korets, Anatoly Ya.

Дата публикации: 2010-12

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T17:29:15Z

Аннотация:

В данной работе приводится обзор экспериментальных исследований кремниевых пористых структур, полученных методом электрохимического анодирования монокристаллического кремния в растворе плавиковой кислоты. Изложены результаты оптических и магнитных исследований кремниевых пористых структур. Определены условия создания воспроизводимой структуры пористого кремния с равномерно распределенными цилиндрическими порами и стабильными временными характеристиками за счет использования специальной формы катода и электромагнитного излучения в видимой области спектра. Показана возможность создания фотонных структур, аналогичных структурам Брегговского отражателя и Фабри-Перо.

Ключевые слова:
пористый кремний, пористые структуры на кремнии, магнитные структуры, Porous silicon, porous structures on silicon, the microsystem engineering

Тип: Journal Article