Развитие технологии получения
и исследования пористого кремния

Юзова, В.А.; Левицкий, А.А.; Харлашин, П.А.; Yuzova, Vera A.; Levitsky, Alexsandr A.; Harlashin, Pavel A.

Развитие технологии получения и исследования пористого кремния

Юзова, В.А., Левицкий, А.А., Харлашин, П.А., Yuzova, Vera A., Levitsky, Alexsandr A., Harlashin, Pavel A.

Дата публикации: 2011-02

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T17:29:46Z

Аннотация:

Работа представляет собой обзор исследований, проведенных в рамках Федеральной целевой программы «Интеграция науки и высшего образования России» студентами и аспирантами под совместным научным руководством преподавателей кафедры «Приборостроение и наноэлектроника» и сотрудников института физики СО РАН в области одного из актуальных технологических направлений микро- и наноэлектроники - развитии технологии получения пористого кремния. Цель данных исследований состоит в разработке кремниевых материалов и структур, обладающих новыми стабильными свойствами, которые в ближайшем будущем позволят значительно расширить диапазон параметров существующих устройств современной микроэлектроники и будут способствовать созданию оригинальных приборов.

Ключевые слова:
пористый кремний, кремниевые структуры, кремниевые технологии, микро- и наноэлектроника, porous silicon, silicon structures, silicon technology, micro- and nanoelectronics

Тип: Journal Article