расширенный поиск
Дата публикации: 1996
Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:11:13Z
Ионное распыление обусловлено образованием каскадов смещенных атомов вследствие взаимодействия атомов кристаллической решетки в приповерхностном слое с бомбардирующими поверхность ионами газов
Тип: Article