Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок железа, полученных методом термического испарения в вакууме

Атучин, Виктор Валерьевич; Покровский, Лев Дмитриевич; Солдатенков, Иван Степанович; Троицкая, Ирина Баязитовна; Кожухов, Антон Сергеевич; Кручинин, Владимир Николаевич; Кочубей, Василий Александрович

Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок железа, полученных методом термического испарения в вакууме

Атучин, Виктор Валерьевич, Покровский, Лев Дмитриевич, Солдатенков, Иван Степанович, Троицкая, Ирина Баязитовна, Кожухов, Антон Сергеевич, Кручинин, Владимир Николаевич, Кочубей, Василий Александрович

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T18:38:56Z

Аннотация:

В данной работе исследованы структура, микрорельеф и оптические свойства толстых, непрозрачных и тонких, полупрозрачных пленок железа, нанесенных на подложки из плавленого кварца и кремния методом термического испарения. Исследования структуры методом дифракции электронов высокой энергии на отражение показали, что поверхностный слой пленок железа является мелкокристаллическим поликристаллом железа (пр. группа симметрии Im3m) с выраженной текстурой. Кроме того, установлено присутствие очень слабой примеси кристаллов Fe2O3 (пр. группа симметрии Ia3). Методом атомной силовой микроскопии установлено, что поверхность пленок железа на кремнии является оптически гладкой с максимальным размером шероховатостей не превышающим 12-15 нм. Исследования оптических свойств пленок железа методом спектральной эллипсометрии позволили получить дисперсионные кривые показателя преломления, n(λ), и коэффициента поглощения, k(λ), в диапазоне длин волн λ = 250-1100 нм, как для толстых, так и для тонких пленок. Спектральные зависимости n(l) и k(l) пленок обоих типов оказались близки и качественно соответствовали типичным кривым n(l) и k(l) для металлов. Толщина полупрозрачных пленок измерялась методом лазерной эллисометрии на длине волны λ = 632,8 нм.

Ключевые слова:
пленки железа, термическое испарение, микрорельеф, кристаллическая структура, оптические свойства

Тип: статьи в журналах

Источник: Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2015. Т. 12, № 3. С. 338-345