Plasma immersion ion implantation for surface treatment of complex branched structures - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Plasma immersion ion implantation for surface treatment of complex branched structures

Kashin, Oleg A., Borisov, Dmitry P., Slabodchikov, Vladimir A., Kuznetsov, Vladimir M., Kudryashov, Andrey N., Krukovsky, Konstantin V., Lotkov, Aleksandr I.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T18:53:53Z

Аннотация:

Ключевые слова:
плазменно-иммерсионная имплантация ионов, поверхностные слои

Тип: статьи в журналах

Источник: AIP Conference Proceedings. 2016. Vol. 1783. P. 020082-1-020082-4

Связанные документы (рекомендация CORE)