Creating metal figures in the surface layer of glass

Gudymovich, E. N.

Creating metal figures in the surface layer of glass

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T18:55:40Z

Аннотация:

Представлены принципы создания тонких металлических рисунков в поверхностном слое стекла с разрешением 10 мкм с использованием способов контактной и взрывной фотолитографии. Показана возможность применения данной технологии в производстве металлических фотошаблонов для микро- и оптоэлектроники без использования трудоемких операций, применяемых в настоящее время, а также буквенных и цифровых изображений любых размеров и конфигурации.

Ключевые слова:
стекло, фотошаблоны, поливиниловый спирт, отжиг, полиметилметакрилат

Тип: статьи в журналах

Источник: Glass and ceramics. 2015. Vol. 72, № 1. P. 10-12