Влияние добавок Pt, Pd, Au на поверхности и в объеме тонких пленок диоксида олова на электрические и газочувствительные свойства - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
980 144

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Влияние добавок Pt, Pd, Au на поверхности и в объеме тонких пленок диоксида олова на электрические и газочувствительные свойства

Максимова, Надежда Кузьминична, Новиков, Владимир Александрович, Рудов, Федор Валентинович, Сергейченко, Надежда Владимировна, Черников, Евгений Викторович, Севастьянов, Евгений Юрьевич

Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:09:06Z

Ключевые слова:
тонкие пленки, электрические свойства, газочувствительные свойства, магнетронное напыление

Тип: статьи в журналах

Источник: Физика и техника полупроводников. 2012. Т. 46, вып. 6. С. 820-828

Связанные документы (рекомендация CORE)