Газоразрядные генераторы высокой частоты для обработки материалов

Орликов, Николай Леонидович; Мамбетова, Ксения Мустафиевна; Шандаров, Станислав Михайлович; Орликов, Леонид Николаевич

Газоразрядные генераторы высокой частоты для обработки материалов

Орликов, Николай Леонидович, Мамбетова, Ксения Мустафиевна, Шандаров, Станислав Михайлович, Орликов, Леонид Николаевич

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:16:48Z

Аннотация:

Впервые разработан метод выделения высокочастотных колебаний из плазмы высоковольтного тлеющего разряда. Метод основан на возникновении пульсаций давления при взаимодействии струи напускаемого рабочего газа с преградой. Пульсации давления создают пространственную неоднородность концентрации плазмы высоковольтного тлеющего разряда (14 кВ, 30 мА), что вызывает нестабильность горения разряда. Разница напряжения зажигания и горения разряда вкладывается в ионизационные процессы и сверхвысокочастотные (СВЧ) колебания, которые выделяются индуктивно-емкостным контуром на частоте 5 МГц. Доля мощности, переведенная в СВЧ-колебания, достигает 40 %. Апробация генератора при травлении ниобата лития показала, что поверхностный заряд с подложки снимается плазмой, а также за счет токов смещения и перезарядки. Скорость травления достигает 5 мкм/ч.

Ключевые слова:
разряды, частота, источники ионов, поток плазмы

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 11. С. 101-104