Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона

Войцеховский, Александр Васильевич; Мельников, Александр Александрович (доктор физ.-мат. наук); Несмелов, Сергей Николаевич; Кульчицкий, Николай Александрович

Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона

Войцеховский, Александр Васильевич, Мельников, Александр Александрович (доктор физ.-мат. наук), Несмелов, Сергей Николаевич, Кульчицкий, Николай Александрович

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:26:54Z

Ключевые слова:
инфракрасные детекторы, микроболометры, силицид германия

Тип: статьи в сборниках

Источник: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения : материалы Международной научно-технической конференции "INTERMATIC-2013", 2-6 декабря 2013 г., Москва. М., 2013. Ч. 1. С. 212-221

Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона

Связанные документы (рекомендация CORE)

Новости проекта

Новости

Партнеры

Индексация