Технологические способы эффективной вакуумно-плазменной обработки изделий в вакуумных камерах большого объема - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Технологические способы эффективной вакуумно-плазменной обработки изделий в вакуумных камерах большого объема

Борисов, Дмитрий Петрович, Кузнецов, Владимир Михайлович (физик), Романов, Василий Яковлевич, Терехов, Павел Алексеевич, Шулепов, Иван Анисимович, Коротаев, Александр Дмитриевич

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:39:50Z

Ключевые слова:
плазма газоразрядная, плазмогенераторы, технологические процессы, азотирование плазменное, легирование

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 3/3. С. 47-51

Связанные документы (рекомендация CORE)