Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений

Хмыль, А. А., Кузьмар, И. И., Кушнер, Л. К., Степанова, Л. И., Лазарук, С. К., Долбик, А. В.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:27:52Z

Ключевые слова:
электрохимические технологии, интегральные схемы, трехмерные интегральные схемы, переходные отверстия, металлизация отверстий, кремний, токопроводящие межсоединения, медь, электролиты меднения, электроосаждение меди

Тип: info:eu-repo/semantics/article

Связанные документы (рекомендация CORE)