Плазмохимический синтез аморфных углеводородных пленок, легированных кремнием, кислородом и азотом

Оскомов, Константин Владимирович; Соловьев, Андрей Александрович; Иванова, Нина Михайловна; Сыпченко, Владимир Сергеевич; Гренадеров, Александр Сергеевич

Плазмохимический синтез аморфных углеводородных пленок, легированных кремнием, кислородом и азотом

Оскомов, Константин Владимирович, Соловьев, Андрей Александрович, Иванова, Нина Михайловна, Сыпченко, Владимир Сергеевич, Гренадеров, Александр Сергеевич

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:58:14Z

Аннотация:

Получены и исследованы аморфные углеводородные (a-C:H) пленки, легированные Si, O и N. Пленки наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенилметилсилоксана, аргона и азота. Исследовано влияние содержания азота в пленках на их физико-механические свойства. Состав пленок изучали методами рентгеновской флуоресцентной спектроскопии и инфракрасной спектроскопии с фурье-преобразованием. Структура пленок изучалась с использованием рамановской спектроскопии. Твердость и другие механические свойства пленок были определены с помощью наноин-дентирования. Показано, что химический состав и свойства a-C:H:SiOx:N-пленок можно контролировать путем изменения парциального давления азота в процессе осаждения. Увеличение содержания азота в a-C:H:SiOx:N- пленке приводит к росту ее среднеквадратической шероховатости и угла смачивания с водой. Также это сопровождается уменьшением содержания углерода в пленке и уменьшением ее твердости, обусловленным уменьшением содержания sp3-фазы углерода.

Ключевые слова:
плазмохимический синтез, легированный аморфный углерод, Фурье-ИК спектроскопия, рамановская спектроскопия

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 7. С. 97-104