Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка

Ли Цзень Фень, Салтымаков, Максим Сергеевич, Гусельников, Виктор Иванович, Макеев, Вячеслав Анатольевич, Ивонин, Иван Варфоломеевич, Найден, Евгений Петрович, Юрченко, Василий Иванович, Ремнев, Геннадий Ефимович

Дата публикации: 2007

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:58:26Z

Ключевые слова:
арсенид галлия, осаждение тонких пленок, абляционная плазма, ионные пучки импульсные, коэффициент эрозии мишени

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2007. Т. 50, № 1. С. 66-70

Связанные документы (рекомендация CORE)