Вклад механических напряжений в формирование поверхностного рельефа при лазерном облучении полупроводников - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Вклад механических напряжений в формирование поверхностного рельефа при лазерном облучении полупроводников

Войцеховский, Александр Васильевич, Сахаров, Михаил Викторович, Талипов, Нияз Хатимович, Средин, Виктор Геннадиевич

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T20:01:25Z

Ключевые слова:
лазерное излучение, полупроводники, термоупругие напряжения, механические напряжения, эпитаксиальные слои, рекристаллизация

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 6. С. 125-128

Связанные документы (рекомендация CORE)