Особенности формирования матрично-пленочных оксидно-сульфидных структур с использованием метода ионного наслаивания - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Особенности формирования матрично-пленочных оксидно-сульфидных структур с использованием метода ионного наслаивания

Гертман, Е. М.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:32:29Z

Ключевые слова:
матрично-пленочные структуры, оксидно-сульфидные структуры, ионное наслаивание, формирование тонких пленок, оксидные пленки, сульфидные пленки, нанесение пленок, ионные прекурсоры, нанотехнологии

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)