С помощью численного моделирования исследовано распределение нестационарных температурных полей на поверхности и в теле мишени при импульсном воздействии остросфокусированного ионного пучка тяжелых ионов. Повышение температуры в зоне облучения на подложке является незначительным и не опасным с точки зрения перестройки структуры, сублимации и плавления. Сравнение распределения температурного поля в мишени с нанесенной пленкой и без нее показывает, что максимальная температура однослойной подложки не намного выше по сравнению с двухслойной.