Моделирование сильноточного разряда низкого давления в плоском и цилиндрическом магнетронах

Удовиченко, С. Ю.; Udovichenko, S. Yu.

Моделирование сильноточного разряда низкого давления в плоском и цилиндрическом магнетронах

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T21:02:26Z

Аннотация:

Развита гидродинамическая модель сильноточной формы тлеющего разряда низкого давления в плоском магнетроне и представлена модель этого разряда в цилиндрическом и обращенном цилиндрическом магнетронах. Модели учитывают генерацию быстрых электронов за счет я–процессов на катоде под действием падающих на него ионов плазмы. Найдены условия самоподдержания разряда, позволяющие оценить напряжение горения разряда, определить критические значения магнитного поля и давления остаточного газа, ниже которых существование сильноточной формы разряда становится невозможным. Проведено сравнение условий самоподдержания разряда в магнетронах различной геометрии.

Ключевые слова:
magnetic hydrodynamics, simulation of high-current form of glow discharge, прямой и обращенный цилиндрические магнетроны, direct and inverted cylindrical magnetrons, моделирование сильноточной формы тлеющего разряда, магнитная гидродинамика, плазма

Тип: Article

Права: open access