Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок

Зарапин, Виталий Георгиевич; Лугин, Валерий Геннадьевич; Березняцкий, А. В.; Жарский, Иван Михайлович

Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок

Зарапин, Виталий Георгиевич, Лугин, Валерий Геннадьевич, Березняцкий, А. В., Жарский, Иван Михайлович

Дата публикации: 1999

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:33:43Z

Аннотация:

Работа посвящена исследованию изменений структурных и электрофизических параметров, происходящих при неизотермическом окислении тонких оловянных пленок, а также изучению структуры и химического состава оксидно-оловянных пленок, полученных термическим окислением.

Ключевые слова:
термическое окисление, металлооксидные полупроводники, тонкие оловянные пленки, неизотермическое окисление, оксидно-оловянные пленки, пленки металлического олова, тонкопленочные оксидно-оловянные покрытия

Тип: Article