Технология полупроводников

Богомазова, Наталья Валентиновна

Технология полупроводников

Дата публикации: 03.05.2014

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:38:35Z

Аннотация:

методические указания к лабораторным работам по одноименному курсу для студентов специальности 1-48 01 01 Химическая технология неорганических веществ, материалов и изделий специализации 1-48 01 01 13 Химическая технология материалов квантовой и твердотельной электроники

Ключевые слова:
технология полупроводников, полупроводниковые интегральные микросхемы, микроэлектронные устройства, диэлектрики