К вопросу о безопасности работы на предприятиях микроэлектроники

Патрушева, Т. Н.; Барашков, В. А.; Чурбакова, О. В.; Петров, С. К.; Подорожняк, С. А.; Белоусов, А. Л.; Федяев, В. А.

К вопросу о безопасности работы на предприятиях микроэлектроники

Патрушева, Т. Н., Барашков, В. А., Чурбакова, О. В., Петров, С. К., Подорожняк, С. А., Белоусов, А. Л., Федяев, В. А.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-03-31T23:20:59Z

Аннотация:

Текст статьи не публикуется в открытом доступе в соответствии с политикой журнала.

Изготовление микроэлектронных приборов относится к высокотехнологичным производствам, основанным на получении тонких пленок металлов, диэлектриков и полупроводников. В статье рассмотрены методы получения тонких пленок, необходимых для изготовления приборов микроэлектроники. С точки зрения экологической безопасности значительный вред здоровью персонала и окружающей среде наносят химические реактивы, используемые в процессах роста пленок, особенно галогенсодержащие вещества, а также газообразные реактивы. Использование сложного вакуумного оборудования требует повышенного внимания и высокой квалификации персонала предприятий. Развитие микро- и наноэлектроники и расширение круга новых функциональных материалов, в частности сложнооксидных, диктует необходимость перехода на новые технологии. Нанотехнологии диктуют новые технологические подходы, в частности развитие растворных методов изготовления тонких пленок, для которых необходимо разработать комплексные системы безопасности.

Ключевые слова:
производство электронных продуктов, методы получения пленок, выбросы химических веществ, нанотехнологии в растворах, системы для выведения и утилизации газов, 61.61.33

Тип: Journal Article