Физико-химические основы технологических процессов

Томилин, Виктор Иванович; Толстихин, Анатолий Константинович; Борисенко, Ирина Геннадьевна

Физико-химические основы технологических процессов

Томилин, Виктор Иванович, Толстихин, Анатолий Константинович, Борисенко, Ирина Геннадьевна

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2020-03-31T23:31:19Z

Аннотация:

Учебное пособие. Версия 1.0.

Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.

Изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа. Предназначено для студентов направлений подготовки бакалавров и магистров 211000.62, 211000.68. Может быть полезно студентам других специальностей, аспирантам и научным работникам, интересы которых связаны с получением, исследованием и практическим применением новых материалов.