Формирование покрытия на кремнии Cr в условиях ионного ассистирования - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Формирование покрытия на кремнии Cr в условиях ионного ассистирования

Бобрович, Олег Георгиевич, Ташлыков, И. С.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:49:43Z

Ключевые слова:
формирование покрытий, кремний, ионное ассистирование

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)