Формирование хемочувствительных оксидных покрытий на сложнопрофилированных матрицах анодного оксида алюминия

Галковский, Тимур Вячеславович; Жилинский, Валерий Викторович; Жарский, Иван Михайлович; Захлебаева, А. И.; Горох, Г. Г.

Формирование хемочувствительных оксидных покрытий на сложнопрофилированных матрицах анодного оксида алюминия

Галковский, Тимур Вячеславович, Жилинский, Валерий Викторович, Жарский, Иван Михайлович, Захлебаева, А. И., Горох, Г. Г.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:50:18Z

Аннотация:

Проведены исследования по формированию композиционных матрично-пленочных оксидных структур на примере хемочувствительных слоев Mo-ҒеО/Al[2]O[3]/Si и Ғe-SnO[2]/Al[2]O[3]/Si с использованием методов химического и электрохимического осаждения на поверхность пористого анодного оксида алюминия. Полученные структуры исследованы с помощью сканирующей электронной микроскопии и электроннозондового микроанализа, что позволило подтвердить предполагаемый состав оксидных структур.

Ключевые слова:
полупроводниковые пленки, оксидные покрытия, хемочувствительные оксидные покрытия, химическое осаджение, электрохимическое осаждение, анодный оксид алюминия, оксид алюминия

Тип: Article