Особенности высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии

Рябчиков, Александр Ильич; Иванова, Анна Ивановна; Корнева, Ольга Сергеевна; Сивин, Денис Олегович

Особенности высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии

Рябчиков, Александр Ильич, Иванова, Анна Ивановна, Корнева, Ольга Сергеевна, Сивин, Денис Олегович

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2020-12-02T09:53:43Z

Аннотация:

Проведены численное моделирование и экспериментальные исследования для определения реальных температур поверхностных и приповерхностных слоев различных материалов в зависимости от режимов высокоинтенсивного ионного облучения. Интегральная температура мишени измерялась с помощью электрически изолированной термопары. Для измерения динамического изменения локальной температуры на облучаемой поверхности мишени использовался высокотемпературный импульсный пирометр KLEIBER 740-LO. Исследован вклад ударно-волнового механизма в массоперенос имплантируемой примеси при высокоинтенсивном ионном облучении и закономерности накопления имплантируемой примеси при горячей высокоинтенсивной имплантации ионов.

Ключевые слова:
плазма вакуумной дуги, ионные пучки, ионная имплантация, радиационно-стимулированная диффузия, Ионное легирование

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 157-165