Влияние условий получения на свойства наноразмерных слоев золота

Галенко, Е. Н.; Шарко, С. А.

Влияние условий получения на свойства наноразмерных слоев золота

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-01-19T16:39:59Z

Аннотация:

В данной работе исследовались наноразмерные слои золота, полученные на кремнии и кварце методом ионно-лучевого напыления с применением методики напыления /распыления слоя золота толщиной несколько нанометров. Показано, что применение данной методики заметно улучшает качество получаемых слоев.

Ключевые слова:
золото, наноразмерные слои золота, тонкие слои золота, напыление слоя золота, распыление, ионное распыление, ионно-лучевое напыление, инновационные технологии

Тип: Article