Микропорошки композиционного состава на основе аэросила, предназначенные для изготовления элементов микроэлектроники

Аль-Камали, М. Ф. С. Х.; Алексеенко, А. А.; Титенков, О. А.

Микропорошки композиционного состава на основе аэросила, предназначенные для изготовления элементов микроэлектроники

Аль-Камали, М. Ф. С. Х., Алексеенко, А. А., Титенков, О. А.

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-01-19T16:40:14Z

Аннотация:

Целью проводимых исследований являлась разработка и изучение функциональных характеристик двухкомпонентных металлооксидных систем в виде тонкодисперсных порошков из наночастиц оксида меди и оксида кремния, формируемых на основе высокопористых медьсодержащих ксерогелей, проведение их термической модификации в водороде, изучение структурных, морфологических и фазовые параметров синтезированных материалов, а также определение возможности создания на их основе элементов для микро- и наноэлектроники.

Ключевые слова:
тонкодисперсные микропорошки, наночастицы оксида меди, наночастицы оксида кремния, высокопористые ксерогели, медьсодержащие ксерогели, золь-гель метод синтеза, аэросил

Тип: Article