Материалов:
678 583

Репозиториев:
29

Авторов:
475 470

Влияние режимов стационарного отжига в различных средах на фазовый состав тонкопленочной системы металл-кремний

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T11:44:43Z

Тип: Научный доклад (Working Paper)


Связанные документы (рекомендация CORE)