Расчеты двойной последовательной диффузии примесей в производстве интегральных схем - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Расчеты двойной последовательной диффузии примесей в производстве интегральных схем

Бондарев, В. А.

Дата публикации: 2005

Дата публикации в реестре: 2021-03-09T13:29:56Z

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)