Study of RF plasma flow at low pressure: Electron temperature influence - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Study of RF plasma flow at low pressure: Electron temperature influence

Shemakhin A.Y., Zheltukhin V.S., Shemakhin E.Y., Pryalukin I.S.

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-03-09T14:06:25Z

Аннотация:

Тип: Conference Paper

Источник: SCOPUS17426588-2020-1588-1-SID85090781521

Связанные документы (рекомендация CORE)