Пленки SiO2 на подложке пористого кремния, полученные при наклонном угле осаждения - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Пленки SiO2 на подложке пористого кремния, полученные при наклонном угле осаждения

Филиппов, В. В., Крекотень, Н. А., Кашко, И. А., Долгий, А. Л.

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-05-18T13:54:42Z

Ключевые слова:
структурированные пленки SiO2, показатели преломления, пористый кремний, оптическая анизотропия, осаждение под углом

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)