Контроль ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации

Ивашкевич, И. В.; Крекотень, Н. А.; Петлицкий, А. Н.; Примак, И. У.; Сотская, Л. И.; Сотский, А. Б.; Стаськов, Н. И.

Контроль ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации

Ивашкевич, И. В., Крекотень, Н. А., Петлицкий, А. Н., Примак, И. У., Сотская, Л. И., Сотский, А. Б., Стаськов, Н. И.

Дата публикации: 2009

Дата публикации в реестре: 2021-05-18T14:17:03Z

Аннотация:

Предложена методика определения ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации света. Выполнены экспериментальные исследования сапфировой подложки на спектральном эллипсометре ES-2. Обсуждаются погрешности решения обратной задачи.

Ключевые слова:
оптика

Тип: Article