Критерий герметичности вакуумных камер установок ионного азотирования

Кагало, В. Г.; Корзун, А. Н.

Критерий герметичности вакуумных камер установок ионного азотирования

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T16:47:42Z

Аннотация:

В вакуумной технике одним из главных критериев работоспособности установки является ее герметичность, величина натекания в откачиваемый объём. В данной статье рассматривается допустимая величина натекания в вакуумную камеру при процессе ионно-плазменного азотирования (ИПА).

Тип: Working Paper