Непрерывность технологического процесса в вакуумных системах

Щаврук, А. А.

Непрерывность технологического процесса в вакуумных системах

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T16:47:46Z

Аннотация:

В данной статье показано, что для вакуумной техники и всех процессов, которые с ней связаны, одним из возможных направлений модернизации оборудования является использование шлюзовых систем, которые позволяют значительно снизить время технологического процесса.

Тип: Working Paper