Разработать и исследовать процесс нанесения сегнетоэлектрической пленки методом ВЧ магнетронного распыления : отчет о НИР (заключ.) - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Разработать и исследовать процесс нанесения сегнетоэлектрической пленки методом ВЧ магнетронного распыления : отчет о НИР (заключ.)

Завадский, С. М., Голосов, Д. А., Жалнерович, Е. Г.

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:33:21Z

Тип: Отчеты о НИР

Связанные документы (рекомендация CORE)