Разработка технологии создания прецизионных 3d-структур на основе сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и формирования гальваническим осаждением функциональных материалов : отчет о НИР (заключ.) - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Разработка технологии создания прецизионных 3d-структур на основе сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и формирования гальваническим осаждением функциональных материалов : отчет о НИР (заключ.)

Тимошков, Ю. В., Сакова, А. А., Тимошков, В. Ю.

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:33:55Z

Тип: Отчеты о НИР

Связанные документы (рекомендация CORE)