Реактивные методы осаждения пленок оксидов титана

Золотухин, Д. Б.; Бурдовицин, В. А.; Тюньков, А. В.; Юшков, Ю. Г.; Окс, Е. М.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.

Реактивные методы осаждения пленок оксидов титана

Золотухин, Д. Б., Бурдовицин, В. А., Тюньков, А. В., Юшков, Ю. Г., Окс, Е. М., Голосов, Д. А., Завадский, С. М.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:34:01Z

Аннотация:

Обзор посвящен анализу преимуществ и недостатков существующих реактивных методов осаждения пленок оксида титана. Особое внимание уделено традиционным методам - магнетронному распылению в атмосфере активных газов и вакуумно-дуговому осаждению, а также обсуждаются возможности реактивного электронно-лучевого испарения, в том числе альтернативного электронно-лучевого испарения титана в форвакууме (1-15 Па) в атмосфере кислорода с последующим осаждением паров на подложку. Показано, что к преимуществам электронно-лучевого испарения в форвакууме следует отнести простоту реализации и возможность получения стехиометрических пленок TiO2, причем при более высокой скорости осаждения и меньшем энергопотреблении.

Ключевые слова:
публикации ученых, оксид титана, тонкие пленки, коэффициент преломления, магнетронное распыление

Тип: Статья