Особенности автоэлектронной эмиссии кремния при низкой температуре

Трафименко, А. Г.

Особенности автоэлектронной эмиссии кремния при низкой температуре

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:34:35Z

Аннотация:

В настоящее время активно исследуются наноструктуры, функционирующие за счет наличия вакуумных промежутков. Особенно важным представляется использование кремниевых технологий. В данной работе анализируются особенности автоэлектронной эмиссии из кремния в вакуум при низкой температуре, связанные с механизмами проводимости легированного кремния в определенных температурных диапазонах.

Ключевые слова:
материалы конференций, автоэлектронная эмиссия кремния, температура

Тип: Статья